可測量殘留氣體成分的真空檢測技術分析

發布日期：2023-02-20      瀏覽次數：690

可測量殘留氣體成分的真空檢測技術分析

SC-10智能真空計是我公司開發的一款全新的全自動真空計，既可以測量殘余氣體成分，又可以測量全壓真空?？倝赫婵斩葟某旱?0-7Pa的
超高真空，當總壓達到50Pa左右時，氣體組分自動開始分壓，測量從10-5Pa左右到10-6Pa霸是可以的?？梢栽诖殖閴悍秶鷥葴y量氣體成分并進行泄漏檢查，這是傳統氣體分析儀無法做到的。

?通過監測殘留氣體成分，可以監測真空設備的健康狀況，并立即發現異常情況。
?可以測量真空度（全壓）和氣體成分（分壓）的單體。

    



智能真空計可測量殘留氣體的成分，讓您在抽真空過程中快速了解真空設備的健康狀況，如泄漏、水汽脫氣等。下面兩張圖是同一臺設備的不同抽氣數據，圖1是正常抽氣，水蒸氣是決定總壓真空度的主要成分，而圖2是因漏氣而使用氮氣。開始向下抽真空約5分鐘后停止，如果繼續抽真空，約10分鐘后氮氣超過水蒸氣，全壓真空度停止下降。通過使用智能真空計，您可以快速發現通過監測總壓力真空無法檢測到的排氣異常及其原因。

使用智能真空計，您不僅可以知道是否有泄漏，還可以通過吹氦氣或吹氬氣找到泄漏的位置。圖3為Smart Vacuum Gauge Gauge當氬氣吹到泄漏點時的數據，可以看出由于氬氣增加，氮氣減少，這里出現了泄漏。堵漏后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，是典型的真空設備殘余氣體成分。





只需打開它并將其連接到您的 PC，無需其他操作。SC-10 內置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓，當總壓達到約 50 Pa 時，將自動開始殘留氣體成分的測量（分壓測量）。
即使恢復到大氣壓力，氣體成分測量也會自動關閉，因此無需擔心。