半導體行業用氟樹脂接頭介紹

發布日期：2023-11-21      瀏覽次數：515

半導體行業用氟樹脂接頭介紹

介紹Flowel株式會社的各種產品，包括多年來受到半導體行業和其他行業好評的“氟樹脂接頭"。

采用國內的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結構，接近滿足客戶的要求：清潔安全、不積液、不泄漏、無需重新擰緊，性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。

• 高性能火炬配件

• 本體前端及螺母內部進行錐度加工的結構

• 顯著改善液體替代特性

• 準備兩種類型的施工方法：冷火炬和熱火炬。

• 最高工作溫度：100℃

• 適用管材尺寸： φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″



氟樹脂配件



80 系列
適用于先進工藝

提供專用夾具
?出色的顆粒排出性能
?業界的 230℃ 兼容
?應用：清潔設備、涂布機顯影劑



70系列
插入式全能焊接

提供專用夾具
- 具有無焊珠結構的平面焊接內表面 
- 自動化加熱和冷卻過程 
- 應用：清潔設備、化學品供應設備、VMB（閥組箱） 



適用于60系列
半導體工藝

可提供專用夾具
?高性能擴口型接頭
?優異的液體置換特性
?用途：涂布機、顯影機



30系列
通用型

長銷配件，無需特殊夾具
，易于安裝。應用
：理化儀器、分析儀器等。


系列性能對照表




	80系列	70系列	60系列	30系列
最高 工作溫度	230℃	200℃	100℃	100℃
尺寸陣容	英制： Φ1/8~1″ 毫米： Φ3~25	英制： Φ1/4~1-1/2″ 毫米： 不適用	英制： Φ1/8~1″ 毫米： Φ3~25	英制： Φ1/8~3/4 毫米： Φ3~19
施工 夾具	基本的	基本的	基本的	-
機身 材質	閥體： PFA/PTFE 螺母： PFA	閥體： PFA/PTFE 螺母：無	閥體： PFA/PTFE 螺母： PFA	閥體： PTFE 螺母： ECTFE
適用 管材 _	粉煤灰	粉煤灰	PFA/ 聚四氟乙烯	PFA/ 聚四氟乙烯