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          晶體晶格畸變非接觸式檢測設備CS-1的特點
          
          
        1. 發布日期：2024-05-21      瀏覽次數：362 
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            晶體晶格畸變非接觸式檢測設備CS-1的特點
            "Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光（波長400～800nm）透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設備。通過本設備可以實現快速、準確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態。
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            產品特征
            產品特長
            1. 高速測量（6" 襯底　90秒）
              ?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應力分布。
            2. 縱向結晶評價
              ?因為是透視型結晶評價裝置，所以不只可以觀察襯底表面，還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。
            3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
              ?可以取得同等測試效果，實現高速低成本。
            4. 價格競爭力
              ?在晶片測量裝置中，屬于性價比好的一款系統。
            可測量材料
            1. SiC單晶襯底、及SiC外延襯底
            2. GaN單晶襯底、及GaN外延襯底
            3. AlN單晶襯底、及AlN外延襯底
            4. 可視光可透視、有雙折射效果的結晶均可。
            測試效果不佳材料
            ?無可視光透視性材料：Si、GaAs等
            ?無雙折射效果材料：藍寶石、Ga2O3 等
            CS1畫像と目視畫像との比較

          
          
        
          
      
          
    
          
  
          

          

          


          

          
  
  
          
    
          聯系方式
          
    
          
      
            
        
          • 電話
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