反射率測量設備選型：MSP-100 同類產品全清單

發布日期：2025-08-13      瀏覽次數：12

以下是 Shibuya-opt MSP-100 系列反射率測量儀 的同類/替代產品全清單，涵蓋不同行業需求（光學鍍膜、半導體、顯示等），并附關鍵參數對比：

一、高精度微區反射率測量（<100μm光斑）

型號	品牌	波長范圍	光斑尺寸	精度	特點	適用行業
MSP-100UV	Shibuya-opt	380-1050nm	φ50μm	±0.02%	紫外敏感，非接觸測量，適合半導體光刻膠檢測	半導體、光學鍍膜
USPM-RUⅢ	奧林巴斯	380-780nm	φ30μm	±0.01%	膜厚+反射率聯測，干涉法高精度	光學鍍膜、單層膜分析
Filmetrics F20	KLA（美國）	190-1700nm	10μm	±0.1%	薄膜厚度+反射率同步分析，毫秒級測量	半導體、MEMS
SRT100	北京某貿易商	250-1100nm	500μm-5mm	±0.5%	可測5層薄膜折射率/反射率，支持實時在線測量	液晶顯示、光學涂層
SR100	Angstrom Sun	250-1100nm	500μm-5mm	±0.5%	快速測量（2ms），支持多通道升級	半導體、納米材料

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二、寬光譜反射率測量（紫外-紅外）

型號	品牌	波長范圍	光斑尺寸	特點	適用行業
MSP-100IR	Shibuya-opt	近紅外（定制）	φ50μm	InGaAs傳感器，高信噪比	紅外光學、熱控涂層
410Vis-IR	安洲科技	335nm-21μm	模塊化探頭	可見+紅外雙測量頭，支持太陽能吸收率計算	航空、太陽能、建筑
SSR-ER	帝恩斯（美國）	太陽光譜模擬	25.4mm孔徑	16種大氣條件測試，NIST溯源	航天、熱控涂層
RT100	未知品牌	200-2500nm	1mm	透射/反射聯測，積分球兼容	顯示面板、濾光片

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三、便攜式/工業現場適用

型號	品牌	波長范圍	精度	特點	適用場景
15R-RGB	美國某品牌	多波段（RGB+IR）	±0.002	便攜式，5波段測量，太陽能反射鏡檢測	太陽能、戶外檢測
C84-Ⅲ	PUSHEN	可見光（固定角度）	±1%	低成本，適用于涂料遮蓋力測試	建筑涂料、質檢
NR4510	三恩時	可見光	±0.5%	手持式，即開即測，適合產線快速檢測	工業現場、快速質檢

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四、科研級高精度設備

型號	品牌	波長范圍	精度	特點	適用領域
Horiba SmartSpec 3000	Horiba	深紫外-THz	0.001%	超高研究級，低溫恒溫樣品倉	量子材料、二維材料
kSA SpectR	kSA（美國）	220-2500nm	±1%	實時鍍膜監控（MBE/MOCVD），適合半導體外延生長	半導體外延片研發
Sentech SE 850	Sentech	橢偏+反射聯測	納米級	可分析光學常數（n,k），適合超薄膜研究	高光學鍍膜

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選型建議

1. 光學鍍膜：MSP-100UV（高精度）或 USPM-RUⅢ（膜厚聯測）。

2. 半導體：Filmetrics F20（微區）或 kSA SpectR（實時監控）。

3. 顯示行業：RT100（寬光譜）或 410Vis-IR（太陽能優化）。

4. 工業現場：NR4510（便攜）或 15R-RGB（多波段）。