lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S 便攜式超聲波流量計

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S
低壓差質量流量控制器，最小工作壓差為800Pa。
專有的環境溫度補償型傳感器低壓降規格和 ±1% F.S 的精度降低了壓降。

品牌	其他品牌	類型	超聲波
測量范圍	1m3/h

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

低壓差質量流量控制器，最小工作壓差為800Pa。

專有的環境溫度補償型傳感器低壓降規格和 ±1% F.S 的精度降低了壓降。

壓電陶瓷執行器閥，可在低壓差下實現精確的流量控制和穩定性。

特點

MC-3000S是一款低壓質量流量控制器，如果二次側通過其專有的低壓降結構進行抽真空，即使在室溫下也能對H2O等液體原料進行流量控制。推薦使用ITO濺射方法，該方法將少量水蒸氣發送到真空室。此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），也可以進行流量控制。

離子注入機中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用安全輸送源（SDS）容器來安全穩定地供應它們。 SDS填充的罐壓低于大氣壓，需要能夠在低壓差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結構，可在低至 800 Pa（6 Torr）的壓差下實現流量控制。

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	低標準	最高 F.S.	密封
5~50°C	800帕	133kPa	±1%F.S.	2~100%F.S.	2SCCM	30SCCM	金

* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。可以通過選項進行更改。